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      场发射扫描电子显微镜

      发布者:秦欢欢发布时间:2016-10-19浏览次数:1006

      1)中文名称:场发射扫描电子显微镜;英文名称:SEM

      2)生产厂商:FEI捷克有限公司;型号:Nova NanoSEM 450

      3)主要技术指标:

              分辨率:高真空:1.0nm15kV),1.4nm1kV

      低真空:1.8nm3kV,采用Helix探头)

      聚焦范围:模式I1mm~60mm,模式Ⅱ为1mm~7mm1kV

              加速电压:50V~30kV,连续可调

             电子束流:可达200nA

             放大倍数:100~600000

             倾斜角度:-15°~75°

             样品台移动范围:X=Y=110mm,Z=25mm

      4主要附件:

                1、超高强度Schottky场发射灯丝;

                2、ETD、TLD探测器,可实现固体样品的微观形貌观察;

                3、低真空探测器,可对不导电样品进行形貌及成分分析;

                4、背散射探测器,可获得样品的成分衬度图片;

                5、CCD红外相机;

                6、牛津X-Max 20能谱仪,可实现固体样品的微区能谱成分分析及线分布、面分布分析;

                7、美国Gantan ChromaCL Ⅱ阴极荧光光谱仪,可配合扫描电镜使用,获得样品的阴极荧光图像;

                8、英国QUORUM Q150R S自动离子溅射镀膜仪,用于扫描电镜样品镀制导电膜;

        

        


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